乾式螺旋真空泵浦
腔體內無油無水，可獲得最乾淨真空
真空製程中無廢油廢水產生
能抽除含有水氣與粉塵的製程
抽速快，真空度高 (7.5x10-3 torr)
適用產業：生技製藥、電子/光電產業、食品工業
產品特色：
1. 結構設計100%比照化工客戶、嚴苛製程等級的設備需求：
【1】高/低端皆採用雙道軸封保護設計(Lip seal)：加強阻隔製程物汙染油箱，延長維護保養時間。
【2】轉子採合金鋼圓棒一體成型加工，強度高，無砂孔，非一般鑄造成型。
【3】機殼，端板使用高密度合金鑄鐵製作，耐磨，抗腐蝕能力提升。
【4】保護鍍層選用杜邦鐵氟龍塗料，膜厚足，包覆力強，有效隔絕腐蝕性物質。
2. 真空泵浦為100%為銳昇設計製造，零件備料充足，服務迅速。
3. 可針對特殊製程需求，提供客製化鍍層的處理方案。
4. 原有機型SD160 、RS1302，亦同步提供水冷馬達、人機操作介面、外罩鈑金規格選配。
