1. 風冷型設計,無須外接冷卻水,安裝簡易、快速 2. 占地空間小、應用範圍彈性大 3. 100%延續乾式螺旋真空泵浦優點:節能、環保、無廢水(油)、真空效率高 抽速快,真空度高:終極壓力可達 7.5x10-3 torr (1 Pa) 。 製程潔淨度高:泵腔內無水無油,避免製程物受油(水)氣反流汙染。 排汙能力強:螺桿具有良好輸送能力,能有效將製程物排出泵外。 應用範圍廣:適用於含有部分水氣、粉塵、酸鹼氣體等製程。 節能兼具環保:低耗功、運轉中無廢水、廢油產生。
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