規格： 主電源：3相220／380伏，50／60HZ約120 ~ 250安培 不鏽鋼腔體：直徑1800 ~ 2200 mm × 高度1500 ~ 2000 mm (或其他客戶指訂尺寸) 系統控制：PLC程式控制保護、人機介面操作系統 靶極電源供應器：2200／380伏，50／60HZ，600V／900V，75A／150A 靶極尺寸： 170 W × 1400 ~ 1565 L 電漿直流電源供應器：直流3KV~直流7.5KV 蒸鍍電流：4000A~6000A 真空幫浦(主泵)：依腔體大小，配合魯式幫浦配置 魯式幫浦(輔助泵)：依腔體大小，配合真空幫浦配置 擴散幫浦、渦輪分子幫浦：依腔體大小，配合客戶工件需求配置 需求空間尺寸、重量 (約略) ： W x D x H：5000 MM x 4000 MM x 2800 MM，7000 ~ 110000 KG
規格： 主電源：3相220／380伏，50／60HZ約120 ~ 250安培 不鏽鋼腔體：直徑1800 ~ 2200 mm × 高度1500 ~ 2000 mm (或其他客戶指訂尺寸) 系統控制：PLC程式控制保護、人機介面操作系統 靶極電源供應器：2200／380伏，50／60HZ，600V／900V，75A／150A 靶極尺寸： 170 W × 1400 ~ 1565 L 電漿直流電源供應器：直流3KV~直流7.5KV 蒸鍍電流：4000A~6000A 真空幫浦(主泵)：依腔體大小，配合魯式幫浦配置 魯式幫浦(輔助泵)：依腔體大小，配合真空幫浦配置 擴散幫浦、渦輪分子幫浦：依腔體大小，配合客戶工件需求配置 需求空間尺寸、重量 (約略) ： W x D x H：5000 MM x 4000 MM x 2800 MM，7000 ~ 110000 KG
