規格: 主電源:3相220/380伏,50/60HZ約120 ~ 250安培 不鏽鋼腔體:直徑1800 ~ 2200 mm × 高度1500 ~ 2000 mm (或其他客戶指訂尺寸) 系統控制:PLC程式控制保護、人機介面操作系統 靶極電源供應器:2200/380伏,50/60HZ,600V/900V,75A/150A 靶極尺寸: 170 W × 1400 ~ 1565 L 電漿直流電源供應器:直流3KV~直流7.5KV 蒸鍍電流:4000A~6000A 真空幫浦(主泵):依腔體大小,配合魯式幫浦配置 魯式幫浦(輔助泵):依腔體大小,配合真空幫浦配置 擴散幫浦、渦輪分子幫浦:依腔體大小,配合客戶工件需求配置 需求空間尺寸、重量 (約略) : W x D x H:5000 MM x 4000 MM x 2800 MM,7000 ~ 110000 KG
規格: 主電源:3相220/380伏,50/60HZ約120 ~ 250安培 不鏽鋼腔體:直徑1800 ~ 2200 mm × 高度1500 ~ 2000 mm (或其他客戶指訂尺寸) 系統控制:PLC程式控制保護、人機介面操作系統 靶極電源供應器:2200/380伏,50/60HZ,600V/900V,75A/150A 靶極尺寸: 170 W × 1400 ~ 1565 L 電漿直流電源供應器:直流3KV~直流7.5KV 蒸鍍電流:4000A~6000A 真空幫浦(主泵):依腔體大小,配合魯式幫浦配置 魯式幫浦(輔助泵):依腔體大小,配合真空幫浦配置 擴散幫浦、渦輪分子幫浦:依腔體大小,配合客戶工件需求配置 需求空間尺寸、重量 (約略) : W x D x H:5000 MM x 4000 MM x 2800 MM,7000 ~ 110000 KG